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硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中锗科技有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、昆明冶研新材料股份有限公司 。

主要起草人 刘新军 、刘英杰 、郑华荣等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2015-10-01
  • 执行于2015-04-30
  • 废止于

2基础信息

标准号
YS/T 1060-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.30
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类
制造业

3备案信息

备案号：50408-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

4适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。

5起草单位

6起草人

刘新军 刘英杰 郑华荣

7相近标准（计划）

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