行业标准《冷阴极电离真空计》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 沈阳真空技术研究所 、安徽晥仪科技股份有限公司 。
主要起草人 郑殿忠 、苏玉萍等 。
备案号:44416-2014。
备案公告: 2014年第4号 。
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