行业标准《真空技术 扩散硅压阻真空计》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报,主管部门为国家发展和改革委员会。
主要起草单位 沈阳真空技术研究所 。
主要起草人 吴春阳 、苏玉萍等 。
备案号:17980-2006。
备案公告: 2006年第8号 。
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