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真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

行业标准-SJ 电子 推荐性 现行

行业标准《真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所中国电子节能技术协会中国电子科技集团公司第五十四研究所

主要起草人 彭海涛杨红伟家秀云等

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