Fused quartz crucibles for cast polycrystalline silicon growth
国家标准计划《多晶硅铸造用熔融石英坩埚》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中材江苏硅材料有限公司;中国电子技术标准化研究所;国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 。
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