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电子级多晶硅

Electronic-grade polycrystalline silicon

国家标准 推荐性 现行

国家标准《电子级多晶硅》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 峨嵋半导体材料研究所四川新光硅业科技有限责任公司有研半导体材料股份有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司新特能源股份有限公司洛阳中硅高科技有限公司

主要起草人 詹科杨旭种娜黎亚文梁洪孙燕刘晓霞

目录

1标准状态

  • 发布于2014-12-31
  • 执行于2015-09-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 12963-2014
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
全部代替标准
GB/T 12963-2009
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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