SIMOX SOI晶片标准
Standard for SIMOX SOI wafers
国家标准计划《SIMOX SOI晶片标准》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
主要起草单位 中科院上海微系统与信息技术研究所 、上海新傲科技有限公司 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 终止
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20079170-T-610
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 12个月
- 下达日期
- 2007-12-04
- 归口单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
中科院上海微系统与信息技术研究所