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太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法

Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell

国家标准 推荐性 现行

国家标准《太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司有研半导体材料股份有限公司乐山新天源太阳能科技有限公司青洋电子材料有限公司

主要起草人 何紫军冯地直程宇黎阳陈琳荆旭华刘卓

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