半导体设备电源接口
Power supply interface for semiconductor equipment
国家标准《半导体设备电源接口》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国人民解放军空军雷达学院 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。
主要起草人 朱忠尼 、亓迎川 、梅昌义 、祁承超等 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-12-17
- 执行于2014-05-15
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 15872-2013
- 发布日期
- 2013-12-17
- 实施日期
- 2014-05-15
- 全部代替标准
- GB/T 15872-1995
- 中国标准分类号
- L23
- 国际标准分类号
- 31.220.10
- 归口单位
- 全国电子测量仪器标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国电子测量仪器标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
中国人民解放军空军雷达学院