半导体设施接口技术文件编写导则
Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
国家标准《半导体设施接口技术文件编写导则》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国华晶电子集团公司 。
目录
1标准状态
- 发布于1995-12-22
- 执行于1996-08-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 15873-1995
- 发布日期
- 1995-12-22
- 实施日期
- 1996-08-01
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.220.10
- 归口单位
- 工业和信息化部（电子）
- 执行单位
- 工业和信息化部（电子）
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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