氟及氟氮混合气
Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
国家标准《氟及氟氮混合气》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、山东锐华氟业有限公司 、核工业理化工程研究院 、西南化工研究设计院 。
主要起草人 杜伟华 、贺国武 、李建浩 、李春晓等 。
目录
1标准状态
- 发布于2011-01-14
- 执行于2011-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 26251-2010
- 发布日期
- 2011-01-14
- 实施日期
- 2011-05-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
中核红华特种气体股份有限公司