Test method for carbon concentration of semi-insulating monocrystal gallium arsenide by measurement infrared absorption method
国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 。
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