The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 北京有色金属研究总院 。
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