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砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal

国家标准 推荐性 现行

国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京有色金属研究总院

目录

1标准状态

  • 发布于2000-04-03
  • 执行于2000-09-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 18032-2000
发布日期
2000-04-03
实施日期
2000-09-01
中国标准分类号
H24
国际标准分类号
77.040.01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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