Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 蛾眉半导体材料厂 。
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