真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
国家标准《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 北京中科科仪技术发展有限责任公司 、沈阳真空技术研究所 。
主要起草人 邹蒙 、张勤德 、朱国精 、马殿理 、李春影 。
目录
1标准状态
- 发布于2010-12-23
- 执行于2011-10-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 25755-2010
- 发布日期
- 2010-12-23
- 实施日期
- 2011-10-01
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
- 归口单位
- 全国真空技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国真空技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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