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真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量

Vacuum technology -Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics

国家标准 推荐性 现行

国家标准《真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京中科科仪技术发展有限责任公司成都南光机器有限公司沈阳真空技术研究所

主要起草人 邹蒙李奇志孟祥菊等

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