负责专业范围为微纳加工与检测。
擅长专业为熟悉电子束光刻、扫描探针显微镜、扫描电镜、X射线CT等科学仪器,并且研制过科研型电子束曝光系统、扫描探针显微镜、计量型扫描电子显微镜等设备,在设备的操控、制造等方面具有专长。。
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