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真空技术 四极质谱检漏方法

Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《真空技术 四极质谱检漏方法》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所合肥智海光电技术有限公司安徽皖仪科技股份有限公司沈阳真空技术研究所

主要起草人 窦仁超孙立臣闫荣鑫洪晓鹏孟冬辉刘磊任国华冯琪史纪军黄文平陈然韩琰喻新发邵容平王健刘兴悦张立伟王勇孙立志王玲玲

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