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硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

Test Method for the Measurement of Oxygen Concentration in Silicon Materials by Inert Gas Fusion Infrared detection Method

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司上海合晶硅材料有限公司

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