Test Method for the Measurement of Oxygen Concentration in Silicon Materials by Inert Gas Fusion Infrared detection Method
国家标准计划《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 。
YB/T 4305-2012 钢铁及合金 氧含量的测定 惰性气体熔融-红外吸收法
GB/T 223.82-2018 钢铁 氢含量的测定 惰性气体熔融-热导或红外法
20153609-T-605 钒氮合金 氮含量的测定 惰性气体熔融热导法
GB/T 20124-2006 钢铁 氮含量的测定 惰性气体熔融热导法(常规方法)
GB/T 24583.2-2009 钒氮合金 氮含量的测定 惰性气体熔融热导法
YB/T 4306-2012 钢铁及合金 氮含量的测定 惰性气体熔融热导法
YB/T 4529-2016 氮化锰铁 氮含量的测定 惰性气体熔融热导法
YB/T 4565-2016 钛铁氮含量的测定 惰性气体熔融热导法
YB/T 4566.1-2016 氮化钒铁 氮含量的测定 惰性气体熔融热导法
DB51/T 2043-2015 钒铝合金 氧、氮含量的测定 惰性气体熔融-红外吸收法和热导法