地方标准《微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法》由广东省质量技术监督局归口上报,主管部门为广东省质量技术监督局。
主要起草单位 广州计量检测技术研究院 、金发科技股份有限公司 。
主要起草人 王潇潇 、韦争亮 、王海燕 、张鹏 、张洁 、程庆 、熊磊 、汪立文 。
备案号:47073-2015。
备案公告: 2015年第10号 。
本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。