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微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

地方标准-广东 推荐性 现行

地方标准《微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法》由广东省质量技术监督局归口上报,主管部门为广东省质量技术监督局。

主要起草单位 广州计量检测技术研究院金发科技股份有限公司

主要起草人 王潇潇韦争亮王海燕张鹏张洁程庆熊磊汪立文

目录

1标准状态

  • 发布于2015-01-30
  • 执行于2015-04-30
  • 废止于

2基础信息

标准号
DB44/T 1527-2015
发布日期
2015-01-30
实施日期
2015-04-30
中国标准分类号
N53
国际标准分类号
71.040.01
归口单位
广东省质量技术监督局
主管部门
广东省质量技术监督局
行业分类
信息传输、软件和信息技术服务业

3备案信息

备案号:47073-2015。

备案公告: 2015年第10号

4适用范围

本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。

5起草单位

6起草人

7相近标准(计划)

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