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电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法

地方标准-福建 推荐性 现行

地方标准《电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法》由福建省化学工业气体标准化技术委员会归口上报,主管部门为福建省质量技术监督局。

主要起草单位 国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)

主要起草人 林宇巍陈熔陈华邹震林永荣张凤利陈小娟叶树海郑江琳

目录

1标准状态

  • 发布于2012-05-04
  • 执行于2012-08-05
  • 废止于

2基础信息

标准号
DB35/T 1248-2012
发布日期
2012-05-04
实施日期
2012-08-05
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.040.40
归口单位
福建省化学工业气体标准化技术委员会
主管部门
福建省质量技术监督局
行业分类
制造业

3备案信息

备案号:35487-2013。

备案公告: 2013年第1号

4适用范围

本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。 本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧(氩)、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。 各杂质组分的检测限:氢:0.02 μmol/mol、氧(氩):0.01 μmol/mol、氮:0.01μmol/mol、甲烷:0.005 μmol/mol、一氧化碳:0.02 μmol/mol、二氧化碳:0.005μmol/mol;各杂质组分检测线性范围:氢、氧(氩)、氮≤1000μmol/mol,甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。

5起草单位

6起草人

7相近标准(计划)

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