行业标准《93%氧化铝真空电子用陶瓷》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 湖南省新化县鑫星电子陶瓷有限责任公司 、上海材料研究所 、河南济源兄弟材料有限公司等 。
主要起草人 谢建林 、曹培福 、高陇桥等 。
备案号:52021-2015。
备案公告: 2015年第12号 。
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