行业标准《多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 北京中材人工晶体研究院有限公司 、山东工业陶瓷研究设计院有限公司 。
主要起草人 张伟儒 、张哲 、王方香等 。
备案号:51019-2015。
备案公告: 2015年第9号 。
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