行业标准《电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 工业和信息化部电子工业标准化研究院 、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 、东海县产品质量监督检验所 。
主要起草人 李运强 、程尚栩 、许振午等 。
备案号:54869-2016。
备案公告: 2016年第7号 。
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