行业标准《金铍蒸发料》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 、有色金属技术经济研究院 。
主要起草人 谢宏潮 、阳岸恒 、向磊等 。
备案号:50420-2015。
备案公告: 2015年第7号 。
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
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