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等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

行业标准-JC 建材 推荐性 现行

行业标准《等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 上海强华石英有限公司久智光电子材料科技有限公司等

主要起草人 张葆青白凤茹等

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