卧式液相外延系统通用规范
行业标准《卧式液相外延系统通用规范》，主管部门为信息产业部。
目录
1标准状态
- 发布于2003-03-01
- 执行于2002-10-30
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- SJ/T 11275-2002
- 发布日期
- 2002-10-30
- 实施日期
- 2003-03-01
- 主管部门
- 信息产业部
- 行业分类
- 无
3备案信息
备案号：10995-2002。
4相近标准（计划）
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