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卧式液相外延系统通用规范
行业标准-SJ 电子
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现行
行业标准《卧式液相外延系统通用规范》,主管部门为信息产业部。
目录
1
标准状态
发布于2003-03-01
执行于2002-10-30
废止于
2
基础信息
标准号
SJ/T 11275-2002
发布日期
2002-10-30
实施日期
2003-03-01
主管部门
信息产业部
行业分类
无
3
备案信息
备案号:10995-2002。
4
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