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电子束暴光机通用技术条件
行业标准-SJ 电子
推荐性
现行
行业标准《电子束暴光机通用技术条件》,主管部门为电子工业部。
目录
1
标准状态
发布于1992-12-01
执行于1992-06-15
废止于
2
基础信息
标准号
SJ/T 10312-1992
发布日期
1992-06-15
实施日期
1992-12-01
主管部门
电子工业部
行业分类
无
3
备案信息
备案号:0006-1993。
4
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