洁净机器人通用技术条件

General specifications of cleaning room robot

国家标准计划制订推荐性

国家标准计划《洁净机器人通用技术条件》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口上报，TC159SC2（全国自动化系统与集成标准化技术委员会机器人与机器人装备分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位沈阳新松机器人自动化股份有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、东北大学、大连理工大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司。

主要起草人徐方、邹风山、尹作重、李志海、王金涛、唐忠华、谭学科、边弘晔、张锋、秦修功、吴成东、丛明、洪旭东、刘在行。