Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
国家标准计划《半导体器件 微电子机械器件 第5部分:MEMS射频开关》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。
主要起草单位 工业和信息化部电子工业标准化研究院 。
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 60747-5:2011。
采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第5部分:MEMS射频开关。