Terminology of FPD mask pattern accuracy
国家标准计划《平板显示器掩模版图形精度术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 。
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