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稳态条件下半导体器件的温度湿度偏置寿命测试方法

Temperature humidity bias life test method for semi-conductor devices in steady state

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《稳态条件下半导体器件的温度湿度偏置寿命测试方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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