Specification for alphanumeric marking of silicon wafers
国家标准《硅片字母数字标志规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 。
主要起草人 张静 、孙燕 、边永智 、楼春兰 。
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