Polycrystalline silicon—Determination of trace elements—Glow discharge mass spectrometry method
国家标准《多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。
主要起草人 卓尚军 、钱荣 、董疆丽 、申如香 、盛成 、高捷 、郑文平 。
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