Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction
国家标准《高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。
主要起草人 章安辉 、黄庆涛 、何秀坤 。
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