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高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法

Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction

国家标准 推荐性 现行

国家标准《高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心中国电子科技集团公司第四十六研究所

主要起草人 章安辉黄庆涛何秀坤

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