硅片径向电阻率变化的测量方法
Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 峨嵋山半导体材料厂 。
目录
1标准状态
- 发布于2007-09-11
- 执行于2008-02-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 11073-2007
- 发布日期
- 2007-09-11
- 实施日期
- 2008-02-01
- 全部代替标准
- GB/T 11073-1989
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 归口单位
- 中国有色金属工业协会
- 执行单位
- 中国有色金属工业协会
- 主管部门
- 中国有色金属工业协会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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