电子工程

 传感器技术的研究与应用

 精密仪器与机械

 1.微机械加速度计研究 2.基于电子束的微纳刻蚀曝光机技术研究 3.基于光纤光栅的海洋传感器研究

 传感器技术

 MEMS与微结构传感器设计与开发

 MEMS传感器

 熟练掌握石英微机械传感器总体设计技术、敏感元件设计与仿真技术、石英微机械工艺技术、微弱信号处理技术、微机械惯性传感器测试标定技术，具备独立或带队开发MEMS传感器的能力。

 物理学、光学

 光电传感、微纳检测 光学设计、分辨成像增强技术、先进光刻技术等

 微纳机电系统

 多年来致力于微纳制造、微机电系统（MEMS）、精密仪器与测试技术、微流控芯片、传感器与物联网技术等方向的研究工作。

 仪器科学与技术

 微纳光学及精密光电检测技术：1.基于微结构金属网栅的光学透明体电磁屏蔽技术，包括微米线宽新型网栅结构的设计、特性分析、加工制作；2.基于微米周期光栅的精密位移测量技术，包括微米周期光栅的设计与制作，光栅读数头的光路设计与研制；3.精密干涉镜组关键器件性能光电检测技术。

 微纳机电系统（MEMS）

 微米纳米器件理论与应用，MEMS频率器件，生物化学MEMS

 惯性技术MEMS技术

 1、具有MEMS技术相关领域的微细加工工艺知识 2、了解和掌握国内外MEMS惯性器件现状和发展趋势 3、了解和掌握制导兵器和智能化弹药用惯性器件需求和现状

 机械制造及其自动化

 机械制造工艺、环境友好金属加工润滑剂、机械制造清洁生产技术